ۋافېر لىتوگرافىيەسى جەريانى ئۈچۈن توغرا بىر قېتىملىق قولقاپنى قانداق تاللاش كېرەك؟

يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافلى ئىشلەپچىقىرىشتا، لىتوگرافىيە جەريانى چىپ ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى بەلگىلەيدىغان مۇھىم، ئېنىقلىققا ئەھمىيەت بېرىدىغان باسقۇچ. ۋافلى ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدىكى «ئېنىقلاش ۋە رەسىمگە تارتىشنىڭ يادروسى» بولۇش سۈپىتى بىلەن، لىتوگرافىيە پۈتۈن خىزمەت ئېقىمىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ - ئايلىنىش قاپلاش، ئاشكارىلاش، تەرەققىي قىلدۇرۇش، ئويۇش ۋە ھۆل تازىلاش قاتارلىقلارنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ ھەمدە مۇھىت پاكىزلىقى، بۇلغىنىشنى كونترول قىلىش، ئېلېكتروستاتىك قوغداش ۋە خىمىيىلىك قارشىلىققا ئىنتايىن قاتتىق تەلەپ قويىدۇ. مىكرون دەرىجىلىك چاڭ-توزان زەررىچىلىرى، ئىز ئىئون كۆچۈشى ۋە ۋاقىتلىق ئېلېكتروستاتىك قويۇپ بېرىش قاتارلىقلارنىڭ ھەممىسى توك يوللىرىدا فوتوقارشىلىق كەمتۈكلۈكلىرى، نەقىشلەرنىڭ ماس كەلمەسلىكى، ۋافلىنىڭ ئوكسىدلىنىشى ۋە مىكرو قىسقا توك يولىنى بىۋاسىتە كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، پۈتۈن ۋافلىلارنىڭ پارچىلىنىپ كېتىشىگە ۋە زور مىقداردا ئىشلەپچىقىرىش زىيىنىغا سەۋەب بولىدۇ. نۇرغۇن FAB شىركەتلىرى فوتولىتوگرافىيە جەريانلىرىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش مىقدارىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن تىرىشىدۇ. ئۈسكۈنىلەر، جەريانلار ۋە مۇھىت پارامېتىرلىرىنىڭ ھەممىسى تەرتىپلىك بولغان تەقدىردىمۇ، توسالغۇ كۆپىنچە قول قوغداش سەرپىياتىغا ئوخشىمايدىغان نەرسىلەردە بولىدۇ. ئادەتتىكى 1000-دەرىجىلىك ياكى سانائەت دەرىجىلىك پاكىز ئۆي قولقاپلىرى فوتولىتوگرافىيە جەريانىنىڭ ئىنتايىن يۇقىرى ئۆلچىمىگە پۈتۈنلەي ماس كەلمەيدۇ.

نېمە ئۈچۈن لىتوگرافىيە جەريانىدا ئادەتتىكى پاكىز ئۆي قولقاپلىرىنى ئىشلىتىش قەتئىي چەكلەنگەن؟

پاراشوك قالدۇقلىرى فوتورېزىست بۇلغىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ

ھەددىدىن زىيادە كۈكىرت ۋە خىلورىد ئىئونلىرى ۋافېرلارنىڭ توك يولىنى چىرىتىدۇ

ستاتىك توك كونترولدىن چىقىپ، ئېنىق فوتولىتوگرافىيە تاختىسىنىڭ بۇزۇلۇشىنى كەلتۈرۈپ چىقاردى

ئىشلەپچىقىرىش جەريانىدا يات ماددىلارنىڭ نۇقسانلىرىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، پوستىنىڭ چۈشۈپ كېتىشى ۋە تۆكۈلۈشى

LjieClean 100-دەرىجىلىك پاراشوكسىز نىترىل قولقاپلىرى

سۇجۇ لىدېر شىركىتى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ۋافلى ئىشلەپچىقىرىش ساھەسىگە دىققەت قىلىپ، لىتوگرافىيە جەريانىدىكى قىيىنچىلىقلارنى ھەل قىلماقتا، بىز پۈتۈن ۋافلى لىتوگرافىيە جەريانىنىڭ ئىشلەپچىقىرىش تەلىپىگە تولۇق ماس كېلىدىغان 100-دەرىجىلىك پاراشوكسىز، ئاز گاز چىقىرىدىغان نىترىل قولقاپلارنى ئىشلەپچىقاردۇق، بۇ ئۇلارنى نۇرغۇن زاۋۇتلار، ۋافلى ئوراپ قاچىلاش ۋە سىناق قىلىش شىركەتلىرىنىڭ ئەڭ ياخشى قوغداش ماتېرىياللىرىغا ئايلاندۇردى.

1. دىخلورىد ئاساسلىق پاراشوكسىز ئۇسۇل: فوتولىتوگرافىيە جەريانىدا پاراشوك بۇلغىنىشى يوق

بۇ ئۇسۇل يېرىم ئۆتكۈزگۈچكە خاس خىلورلاشتۇرۇش تازىلاش جەريانىنى قوللانغان بولۇپ، پۈتكۈل جەرياندا تالك، كۆممىقوناق كراخمالى ياكى سىلىكون مېيى قاتارلىق ياردەمچى قوشۇمچە ماددىلارنى قوشۇشنى تەلەپ قىلمايدۇ. ئۇ جەرياننىڭ ئۆزىدە راۋان قوللىنىشنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، مەنبەدىكى فوتورېزىستنى بۇلغىغان پاراشوك زەررىچىلىرى ۋە سىلىكون مېيى قالدۇقلىرىنى يوقىتىدۇ، شۇنىڭ بىلەن فوتولىتوگرافىيە جەريانىدىكى يات زەررىچىلەردىكى نۇقسانلارنى تولۇق ھەل قىلىدۇ.

2. كۆپ باسقۇچلۇق ئۇلترا ساپ سۇ بىلەن چايقاش ئارقىلىق تۆۋەن كۈكۈرت، تۆۋەن خلور ۋە تۆۋەن ئىئون مىقدارىغا ئېرىشكىلى بولىدۇ.

يۇقىرى ساپلىقتىكى سۇ بىلەن كۆپ قېتىم چوڭقۇر چايقاش ئارقىلىق، خام ماتېرىيال قوشۇمچە ماددىلار ۋە يۈزەكى قالدۇقلار چىقىرىۋېتىلىدۇ. كۈكىرت، خىلور ۋە ئېرىيدىغان مېتال ئىئونلىرىنىڭ مىقدارى قاتتىق كونترول قىلىنىدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە تۆۋەن NVR (ئۇچۇمايدىغان قالدۇق) ھاسىل بولىدۇ. بۇ، ۋافلىنىڭ ئوكسىدلىنىشى، قاپلاش چىرىشى ۋە ئويۇش نۇقسانلىرىنىڭ ئالدىنى ئېلىپ، قولقاپلارنى 8 ۋە 12 دىيۇملۇق ۋافلىلارنىڭ تەلەپچان لىتوگرافىيە جەريانلىرىغا تولۇق ماسلاشتۇرىدۇ.

3 دانە قېلىپ ئىچىدىكى ئۆزگەرتىلگەن ESD قوغداش سىستېمىسى ئېلېكتروستاتىك سەزگۈر ۋافلىلارنى قوغداش ئۈچۈن

بازاردا سېتىلىۋاتقان ۋاقىتلىق پۈركۈش قاپلىمىلىق ئانتىستاتىك قولقاپلاردىن پەرقلىق ھالدا، Gonars شىركىتى نىترىل ئاساسلىق ماتېرىيالدا قېلىپ ئىچىدىكى ئانتىستاتىك ئۆزگەرتىش تېخنىكىسىنى قوللىنىدۇ. بۇ، مۇقىم ۋە بىردەك يۈزەكى قارشىلىقنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، پۈتكۈل جەرياندا ستاتىك توكنى ئۈزلۈكسىز تارقىتىپ، فوتورېزىستنىڭ بۇزۇلۇشى ۋە ئېنىقلىقتىكى ۋافېر توك يولىنىڭ بۇزۇلۇشىغا سەۋەب بولىدىغان ستاتىك يىغىلىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. ئۇ ئاشكارلاش ۋە تەرەققىي قىلدۇرۇش قاتارلىق يادرولۇق لىتوگرافىيە باسقۇچلىرىغا ماس كېلىدۇ.

4 يۇمشاق ۋە ماس كېلىدۇ، مىكرون دەرىجىلىك ئېنىقلىق مەشغۇلاتىغا ماس كېلىدۇ

قولقاپ ماتېرىيالى يۇمشاق بولۇپ، قولنىڭ شەكلىگە ماس كېلىدۇ. بارماق ئۇچىدا سىيرىلمايدىغان تېكىستۇرا لايىھەسى بار، ئۇ يېنىك ۋە قېلىن ئەمەس، بۇ ئۇنى فوتولىتوگرافىيە تاختىسىنى بىر تەرەپ قىلىش، ئۈسكۈنىلەرنى تەڭشەش ۋە ئېنىق تەكشۈرۈش قاتارلىق ئېنىق مەشغۇلاتلارغا ماس كېلىدۇ. ئۇ چەكسىز ھەرىكەت بىلەن تەمىنلەيدۇ ۋە سىيرىلىپ كېتىشنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، قولدا مەشغۇلات قىلىش جەريانىدا تاسادىپىي سوقۇلۇشلار كەلتۈرۈپ چىقىرىدىغان زىياننى ئۈنۈملۈك ئازايتىدۇ. بۇنىڭدىن باشقا، ئۇ فوتولىتوگرافىيە ئېرىتكۈچى ۋە يېنىك كىسلاتا ۋە ئىشقارلارغا چىداملىق بولۇپ، ئۇزۇن مۇددەت ئىشلەتكەندىمۇ قېرىپ ياكى يىرتىلىپ كەتمەي چىداملىق تۇرىدۇ.

5

✅ قوش قەۋەتلىك ۋاكۇئۇم بىلەن پېچەتلەنگەن ئورالما ئىككىنچى دەرىجىلىك بۇلغىنىشنى يوقىتىدۇ

تەييار مەھسۇلاتلار پۈتۈن جەرياندا 100-دەرىجىلىك تازىلىق ئۆيىدە قوش قەۋەتلىك ۋاكۇئۇم بىلەن پېچەتلەنگەن ئورالما ئارقىلىق ئورالغان بولۇپ، ساقلاش ۋە توشۇش جەريانىدا چاڭ-توزان ۋە نەملىكتىن تولۇق ساقلىنىدۇ. ئورالمىنى ئاچقاندا ئىككىنچى دەرىجىلىك بۇلغىنىش بولمايدۇ، شۇڭا ئۇلارنى دەرھال 100-دەرىجىلىك لىتوگرافىيە تازىلىق ئۆيلىرىدە ئىشلىتىشكە بولىدۇ.