يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا بارغانسېرى قاتتىق «نۆل نۇقسان» تەلىپىنىڭ ئوتتۇرىغا چىقىشىغا ئەگىشىپ، Lijie 9 دىيۇملۇق تۆۋەن خلورلۇق نىترىل قولقاپلىرى ئالاھىدە تۆۋەن ئىئون قالدۇقى ۋە يۇقىرى پاكىزلىق ئىقتىدارى سەۋەبىدىن ۋافلى پىششىقلاپ ئىشلەش ۋە چىپ ئورالمىسى باسقۇچلىرىدا مۇھىم قوغداش ئۈسكۈنىسىگە ئايلاندى. ئالاھىدە پىششىقلاپ ئىشلەش ئارقىلىق، قولقاپنىڭ خلور مىقدارى ≤50ppm دا قاتتىق كونترول قىلىنىدۇ، بۇ 100ppm كەسىپ ئۆلچىمىدىن زور دەرىجىدە ئېشىپ كېتىدۇ. بۇ، ۋافلى يۈزىدە خلورلۇق ئىئوننىڭ يۆتكىلىشىدىن كېلىپ چىققان چىرىش خەۋپىنىڭ ئالدىنى ئۈنۈملۈك ئالىدۇ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشنىڭ مىكروسكوپ بۇلغىنىشنى كونترول قىلىشتىكى قاتتىق تەلىپىگە ئۇيغۇن كېلىدۇ.
لىتوگرافىيە جەريانلىرىدا، قولقاپنىڭ پاكىزلىقى فوتورېزىست قاپلاش ئېنىقلىقى ۋە ئاشكارىلىنىش نەتىجىسىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. 100،000 دەرىجىلىك پاكىز ئۆيلەردە ئىشلەپچىقىرىلغان ۋە لازېرلىق چاڭ-توزان چىقىرىۋېتىلگەن بۇ مەھسۇلاتنىڭ يۈزىدىكى زەررىچە قويۇپ بېرىش مىقدارى كۋادرات دىيۇمغا 0.2 زەررىچەدىن تۆۋەن بولۇپ، ISO 3 دەرىجىلىك پاكىز ئۆي ئۆلچىمىگە ئۇيغۇن كېلىدۇ. بۇ مىكرو زەررىچىلەرنىڭ ۋافېر يۈزىگە چاپلىشىشىنىڭ ئالدىنى ئۈنۈملۈك ئالىدۇ، شۇنىڭ بىلەن لىتوگرافىيە نۇقسانلىرىنى ئازايتىدۇ. 9 دىيۇملۇق ئۇزۇنلۇقتىكى لايىھە قول بىلەكتىن قولنىڭ ئالقىنىغىچە تولۇق قاپلاشنى تەمىنلەيدۇ. ئېلاستىك قولتۇق قۇرۇلمىسى بىلەن بىرلەشتۈرۈلگەندە، ئۇ ئىشلىتىش ئەۋرىشىمچانلىقىنى كاپالەتلەندۈرىدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا يەڭ ئېغىزىدا چاڭ-توزاننىڭ تۆكۈلۈشىنىڭ ئالدىنى ئۈنۈملۈك ئالىدۇ، لىتوگرافىيە جەريانلىرىدا دىنامىك پاكىز مۇھىتقا بولغان قاتتىق تەلەپلەرگە ماس كېلىدۇ.
بۇ قولقاپلار، ئويۇش ۋە ئىئون ئىمپلانتاتسىيەسى قاتارلىق يۇقىرى دەرىجىدە چىرىشچان رېئاگېنتلارنى ئۆز ئىچىگە ئالغان جەريانلاردا، ئالاھىدە خىمىيىلىك قارشىلىق كۆرسىتىدۇ. ھىدروفلۇئور كىسلاتاسى ۋە فوسفور كىسلاتاسى قاتارلىق ئورتاق يېرىم ئۆتكۈزگۈچ رېئاگېنتلاردا 24 سائەتلىك چىلاش سىنىقىدىن كېيىن، ئۇلاردا ئىششىش ياكى يېرىلىش كۆرۈلمەيدۇ، ئېغىرلىق ئۆزگىرىش نىسبىتى %0.8 تىن تۆۋەن بولىدۇ. بۇ، قولقاپنىڭ بۇزۇلۇشىدىن كېلىپ چىققان رېئاگېنت بۇلغىنىش خەۋپىنى يوقىتىش بىلەن بىرگە، مەشغۇلاتچىلار ئۈچۈن ئىشەنچلىك قول قوغداش بىلەن تەمىنلەيدۇ. بارماق ئۇچىدا 0.02 مىللىمېتىرلىق لازېر ئويۇلغان سىيرىلىشقا قارشى توقۇلمىلار بار بولۇپ، 12 دىيۇملۇق ۋافلىلارنى ئىشلەتكەندە سۈركىلىش نىسبىتىنى %35 ئاشۇرىدۇ ۋە ۋافلىنىڭ سىيرىلىش خەۋپىنى %60 تۆۋەنلىتىدۇ. بۇ، قوغداش بىخەتەرلىكى بىلەن مەشغۇلات مۇقىملىقى ئوتتۇرىسىدىكى تەڭپۇڭلۇقنى ئەمەلگە ئاشۇرىدۇ.
ھازىر SEMI F57 ئۆلچىمى بويىچە گۇۋاھنامە ئالغان بۇ قولقاپلار SMIC ۋە Hua Hong Semiconductor قاتارلىق داڭلىق قۇيۇش زاۋۇتلىرىنىڭ كۆپ مىقداردا ئىشلەپچىقىرىش لىنىيىسىگە ئىشلىتىلىۋاتىدۇ. ئۇلار قول تېگىشىدىن كېلىپ چىققان ۋاپلېننىڭ قالدۇق نىسبىتىنى %38 تۆۋەنلىتىدۇ، بۇلار يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقىرىشتا پاكىز ئۆينى قوغداش بىلەن ئىشلىتىش ئۈنۈمىنى تەڭپۇڭلاشتۇرۇشتىكى ئەڭ ياخشى تاللاشقا ئايلاندى.
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 11-نويابىر